此篇訪談中,比利時微電子研究中心(imec)先進圖形化制程與材料研究計劃的高級研發SVP Steven Scheer以近期及長期發展的觀點,聚焦圖形化技術所面臨的研發挑戰與創新。本篇訪談內容,主要講述這些技術成果的背后動力,包含高數值孔徑(high NA)極紫外光(EUV)微影技術的進展、新興內存與邏輯組件的概念興起,以及減少芯片制造對環境影響的需求。怎么看待微影圖形化這塊領域在未來2年的發展?Steven Scheer表示:「2019年,極紫外光(EUV)微影技術在先進邏輯晶圓廠進入量產,如今動態隨機存