- 1 引言
隨著硅微機械技術的不斷發展，基于壓阻原理的微加速度計已成為商品。由于硅的機械性能優良，這些微加速度計往往具有較高的抗過載能力。然而，有些物理過程存在相差上百倍的多個加速度值需要測量，需要測
- 關鍵字：
復合量程 動態特性 分析 微加速度計
復合量程介紹
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