- 垂直納米環柵晶體管是集成電路2納米及以下技術代的主要候選器件，但其在提高器件性能和可制造性等方面面臨著眾多挑戰。在2018年底舉辦的國際集成電路會議IEDM上，來自IMEC的Ryckaert博士1將垂直納米器件的柵極長度及溝道與柵極相對位置的控制列為關鍵挑戰之一。
- 關鍵字：
微電子所 垂直納米環柵晶體管 集成電路
垂直納米環柵晶體管介紹
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