- 引言 半導體制造技術能否持續突破,材料一直扮演著重要的角色,從最早的鍺(Ge),到隨后普遍應用的硅(Si),近年來又衍生出更多的材料,本文將針對此方面的新材料、新趨勢的發展,以及現有的技術難題等進行討論。 銅導線材 在半導體技術發展初期的20世紀50年代,主要是以鍺元素為材料,不過鍺元素的耐高溫性不足、抗輻射能力差,以致在20世紀60年代后逐漸被硅元素取代,硅在抗熱、抗輻射等方面的表現都優于鍺,適合用來制做大功率的集成電路。近年來,隨著制造技術不斷縮小到0.25um以下,集成電路在線路上的電
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07展望 半導體料材
半導體料材介紹
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