- 引 言
動力學振動系統是眾多慣性傳感器中的重要組成部分，其參數的選取決定了傳感器的性能的優劣。針對基于菲涅耳衍射微透鏡的新型光學加速度傳感器設計了一種簡單實用的敏感加速度的振動系統，它是由一個微彈性機械結構連接在外框架上構成。微彈性機械結構不僅是微型加速度傳感器重要組成部分，而且，在微型驅動器、微位移計、微陀螺儀及其他慣性傳感器中也有著重要的應用，在微機電系統(MEMS)中發揮著重要的作用。目前，MEMS中類似于微彈性機械結構的敏感裝置主要有硅懸臂梁、直角彈性結構及結構更復雜的硅彈簧等。微彈性機
- 關鍵字：
模擬技術 電源技術 傳感器 動力學系統 傳感器 執行器
動力學系統介紹
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