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        光學缺陷檢測 文章 最新資訊

        KLA發布全新缺陷檢測與檢視產品組合

        • 加利福尼亞州米爾皮塔斯,2019年7月9日- KLA公司(納斯達克股票代碼:KLAC)今日發布392x和295x光學缺陷檢測系統和eDR7380?電子束缺陷檢視系統。這些全新的檢測系統是我們公司旗艦產品系列——圖案晶圓平臺的進一步拓展,其檢測速度和靈敏度均有提升,代表了光學檢測的新水準。全新電子束檢視系統的創新使其自身價值進一步穩固,并成為缺陷和發現其產生根源之間的必要一環。對于領先的3D NAND、DRAM和邏輯集成電路(IC),該產品組合將縮短整個產品周期,加快其上市時間。“為了有利潤地制造下一代內存
        • 關鍵字: KLA  光學缺陷檢測  eDR7380?電子束缺陷檢  
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        光學缺陷檢測介紹

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