- 先進半導體工藝設備供應商Mattson Technology日前宣布從一家亞洲新客戶處獲得了Suprema光刻膠剝離系統訂單。該系統可用于先進邏輯器件生產，包括前端工藝及后端工藝。預計這些系統將于第四季度出貨。
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Mattson 光刻膠剝離
光刻膠剝離介紹
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