- 在微波設備微放電效應的研究中，低能電子的作用通常被忽略。本文重點研究了低能電子對單面介質加載微波部件微放電的影響，基于蒙特卡洛算法，建立了單面介質加載微波部件的微放電的模型，模擬了單面介質加載微波部件微放電的規律，利用數值的方法對波導中靜電場進行求解并對電子的軌跡進行跟蹤。通過對比經典的Vaughan二次電子發射模型（考慮低能電子）和Rice模型（沒有考慮低能電子）的模擬結果，獲得了低能電子對單面介質加載微波部件微放電的影響。
- 關鍵字：
低能電子 微放電 介質加載 202110
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