新國標推動潔凈技術邁上新臺階

　　電子產品不僅對生產環境的空氣潔凈程度有嚴格要求，而且還對與生產過程直接接觸的各種高純介質——— 高純水、高純氣體、高純化學品等的雜質含量等有十分嚴格的要求。某些電子產品對振動、靜電、電磁干擾、電力供應等也有較為嚴格的要求。為此，電子工業潔凈廠房一般配備下列設施，如凈化空調系統、專用凈化設備、噪聲控制設備、防微振設備、防靜電設備、防電磁干擾設備、電氣、照明、高純物質(高純水、高純氣、高純化學品)供應設備、報警系統、節能設施以及通信設施等。微電子產品的微細化，要求供應純度極高的氣體、化學品和純水。目前納米級集成電路芯片生產要求氣體中雜質的濃度要控制到19-9級或10-12級，要求超純水的電阻率為18MΩ·cm，雜質濃度為19-9級或10-12級。

　　新國標推動潔凈技術上臺階

　　基于上述電子工業潔凈廠房的特點，現有國家標準《潔凈廠房設計規范》(GB50073)中的有關規定已不能滿足需要，尤其是涉及化學分子污染物的控制以及安全、消防等方面的規定(如潔凈建筑防火與疏散、易燃易爆氣體和化學品的貯存輸送、安全消防報警設施等)。由國家住房和城鄉建設部和國家質量監督檢驗檢疫總局聯合發布，并從2009年7月1日實施的國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》(GB50472)，正是以現代電子工業潔凈廠房的特點和工程實踐為依據，結合我國電子工業潔凈廠房設計建造和運行的實際情況，廣泛調研、整理相關的專題報告和測試資料，認真總結多年來電子工業潔凈廠房設計建造和運行方面的經驗，廣泛征求了國內有關單位的意見制定而成的。國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》(GB50472)共分15章和4個附錄。主要內容有：總則、術語、電子產品生產環境設計要求、總體設計、工藝設計、潔凈室建筑設計、空氣凈化和空調通風設計、給水排水設計、純水供應、氣體供應、化學品供應、電氣設計、防靜電與接地設計、噪聲控制以及微振控制等。該規范是強制性標準，其中設有強制性條文近50條，在規范中黑體字的條文為強制性條文，必須嚴格執行。

　　所有進行電子工業潔凈廠房設計建造的單位和相關科技人員都應認真執行、實施規范中的強制條文。與此同時，推薦性條文的各項規定使電子工業潔凈廠房的設計、建造有法可依，有章可循。我們希望通過認真執行、實施國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》(GB50472)，使我國電子工業潔凈廠房的設計建造達到更高的水平。同時，我們也希望在新國標實施中得到各有關單位、科技人員的修改和補充意見，使之不斷完善。