加速度計不再是MEMS專利 Epson完成石英加速度計開發

　　由于感測加速度與角速度等物理量變化并非硅微機電系統(MEMS)的專利，石英組件供貨商Epson Toyocom亦預定在2010年推出以石英為基礎的加速度感應器，以分食龐大的加速度感應器市場大餅。

　　Epson Toyocom開發技術統括部暨商品企劃戰略部課長宮澤輝久指出，該公司的石英加速度傳感器開發已接近完成階段，預計在2010年進行量產。

　　拜任天堂(Nintendo)的Wii游戲機和蘋果(Apple)iPhone熱潮所賜，加速度、角速度等感測組件也成當紅炸子雞，讓硅微機電系統(MEMS)快速竄紅。不過，石英組件也已蓄積能量，不愿錯失此一商機。Epson Toyocom開發技術統括部暨商品企劃戰略部課長宮澤輝久指出，石英音叉本身除可產生穩定的頻率頻率外，在設計上略經修改后，也可以扮演加速感應器的角色。其動作原理在于外界施加的力量會改變石英音叉的共振頻率，因此只要檢測石英共振頻率的變化，就能得知該力量的強度。

　　目前Epson Toyocom已開發出石英加速度傳感器的原型，除了石英音叉本體外，該組件還包含其它周邊電路，系負責將頻域訊號轉換成模擬電壓輸出。該公司預計將在2010年量產以石英為基礎的第一款加速度傳感器，。

　　事實上，石英晶體除了被用來產生頻率訊號外，近年來也發展出許多不同的新應用，如角速度感測、壓力感測等，均為石英組件已占有一席之地的領域。為持續擴大戰果，Epson Toyocom的下一步計劃便是進軍規模更龐大的加速度感應器市場。

　　不過，石英加速度感應器并非無懈可擊。例如與硅微機電系統加速度感應器相比，石英方案的尺寸無法像前者般持續微縮，難以實現三軸加速度感應功能。因此，宮澤認為，未來石英和硅感應器會自然而然地形成市場區隔，例如對高可靠度或偵測慢速移動的應用而言，石英方案會是比較理想的選擇，因為石英傳感器具備近乎免疫于溫度變化的特性，且其噪聲水平只有硅微機電的十分之一左右，因此特別適合用來偵測微小的加速度變化。