復旦-諾發互連研究中心將贊助最佳研究生論文競賽

　　諾發系統有限公司宣布舉辦第一屆復旦-諾發國際銅互連技術研討會最佳研究生論文競賽。

　　由復旦-諾發互連研究中心贊助的最佳研究生論文競賽將在復旦-諾發國際銅互連技術研討會期間舉行，此項每年春季舉行的競賽將為在校研究生、研究人員以及全球半導體專業人士提供一個討論新型的、令人振奮的半導體制造技術的平臺。同時，此次競賽也標志著該研討會將進入第五屆。

　　入選文章作者將獲得相應獎勵：獎項共設金獎一名、銀獎兩名、銅獎三名。

　　復旦-諾發互連研究中心此次舉辦的2008 年研討會最佳研究生論文競賽的參賽領域包括：

　　• 半導體制造和互連工藝中的新技術;

　　• Cu/Low k 集成技術;

　　• 面向45nm及以下技術節點的PVD/CVD/ALD擴散阻擋層和銅籽晶層;

　　• CMP材料和制造技術;

　　• 干法工藝(溝槽結構和雙鑲嵌工藝，干法刻蝕工藝，等離子體造成的損傷，等)

　　• 先進介質材料(低介電常數介質，高介電常數介質，抗反射薄膜等)以及薄膜淀積工藝進展;

　　• 先進電鍍技術;

　　• 金屬化的可靠性研究;

　　• 先進圖像轉移技術。

　　諾發公司同中國大學的合作及其對中國微電子學教育的支持可以回溯至 2003 年，就在這一年，諾發公司向復旦大學捐贈了一套銅半導體制造設備，并且建立了復旦-諾發互連研究中心進行互連技術的研究。除研究和教學以外，從2004年起，該中心還成功地在復旦大學舉辦每年一次的復旦-諾發國際銅互連技術研討會。

　　關于復旦大學微電子學院

　　于2002年成立于復旦大學微電子學院 (SME)是復旦大學歷史悠久的微電子學專業和固態電子學專業的強強聯合。復旦大學微電子學在過去的二十年中取得了巨大的進步，并于 1988 年成為國家重點學科。1992 年，該學科建立起了 ASIC & System 國家重點試驗室。自組建以來，復旦大學微電子學院已經取得了諸多成就，并發展成為一所優秀的教育和研究機構，在很多領域都擁有豐富的經驗，例如：SoC 設計、IC CAD、新型半導體制造技術、結構和器件以及微電子機械系統。