SEZ 的300-MM 設備首次成功登陸中國市場

    SEZ（瑟思）集團于今日宣布：第一臺SEZ的300-mm設備- Da Vinci™達芬奇系統-已經銷往中國。一家領先的中國制造商購買并安裝了該套設備。

    大量的行業資料表明，消費類電子元器件在中國的蓬勃發展使得中國市場已經稱為全球成長最快的半導體市場，預計在未來幾年中其迅速的增長速度還將繼續領先于所有的國家和地區。當這一地區的半導體制造正在向300-mm逐步衍變之時，世界知名的半導體芯片制造廠對SEZ的300-mm DV系列設備的采購，為SEZ搶灘中國單晶圓市場的份額創造了重要的契機。

    SEZ亞太區首席運營官“Herwig Petschnig評論說：“這一訂單象征著SEZ集團相當重要的里程碑，另外作為集團在中國半導體市場銷售的第一套300-mm 系統設備，該芯片制造廠商采購的DV系列設備同時也是我們在中國安裝的第20套設備。這一采購行動具有重大意義，它延續了SEZ公司和這一重要客戶的合作關系，使我們深感振奮。”

    在向著更大幅度的成本縮減、更好的產品良率、更高的生產力的行業發展趨勢的驅策下，自2003年7月Da Vinci系統平臺面世以來，市場對它的接受急速增長。SEZ已經在全球范圍內安裝了多套Da Vinci 系統，預計2005年，這一產品系列的銷售額將超過公司整體銷售額的50%。

    希望了解SEZ單晶圓系統全部系列更多信息的讀者，歡迎蒞臨SEZ公司在半導體中國（SEMICON China）的4019號展臺（地址：上海新國際博覽中心，時間：3月15日到17日）

Da Vinci系列

    Da Vinci （達芬奇）系列是創新的、可量產的單晶圓處理平臺，它的研發是用于滿足用于90-nm及其更小的元器件幾何尺寸下，200-mm和300-mm晶圓量產時后道工藝過程（BEOL）聚合物的清除、晶圓背面的蝕刻和清洗，以及新興的應用，諸如高k（介電常數）電介質、金屬門極、鐵電存儲（FRAM）和磁隨機存儲（MRAM）技術等新制程的要求。Da Vinci系統提供了可實現的設計、高產能以及準確的晶圓清洗，從而幫助芯片制造商獲得最大的器件良率。