創新：MEMS行業與生俱來的能力

　　回顧微電子機械系統(MEMS)的初始發展，MEMS已經走過了很長的一段道路。20世紀80年代，人類進入了信息時代，信息和數據的處理成為PC個人計算機以及之后的膝上型計算機發展中的重點。

　　自2000年起，進入了傳感和與廣泛傳播的MEMS和傳感器交互的時代，使我們能夠更好、更安全地感知和理解環境。

　　今天，MEMS已發展成為一個近150億套容量的市場(數據來源：MEMS行業發展狀態，Yole Development公司，2015年7月)。據Yole預測，到2020年，這個市場將會增長一倍，達到近300億套。

　　35年以前，壓力傳感器成為首次批量生產并投放市場的MEMS系統。當然，這條大批生產的道路起始于汽車行業?，F如今就價值而言，MEMS壓力傳感器仍然有著最大的MEMS市場。但是，最有希望使MEMS獲得迅速發展的市場不再是汽車行業，而是MEMS消費類應用產品。

　　2003年，手機中采用了樓氏公司(Knowles)生產的麥克風，MEMS系統首次被引入到消費市場之中。不久，游戲應用便緊隨其后。2006年，任天堂公司的Nitendo WiiTM運動游戲產品中采用了意法半導體公司(STMicroelectronics)的MEMS加速度計。這為MEMS消費類應用激增的所謂“消費浪潮”鋪平了道路。這種“浪潮”從未由于2007年智能電話以及此后平板電腦迅猛發展勢頭的回落而停止。因此，Yole公司估計，2014年MEMS消費類應用市場在全球110.1億美元MEMS市場中所占比例超過60%。在今后較長的時間內，MEMS消費類產品仍將是MEMS市場發展的主要驅動力。如果從2000年年初展望至2020年，在這20年的時間內，由于消費類應用的發展，MEMS市場收入將增加4倍。

　　根據Yole公司專門針對MEMS和傳感器行業所進行的最新技術和市場分析，MSMS麥克風應該繼續有一個光明的未來，在2020年它們仍將會占據著最大MEMS貨運量的地位，其貨運量預計將達到73億套。到2020年，慣性設備因此預計將有15億套的陀螺儀、23億套的加速度計、以及35億套的慣性組合器件的貨運量。射頻MEMS的貨運量可能居于第三位，預計將達到55億套。而壓力傳感器的貨運量則可能居后，2020年預計為45億套。

　　當然，促進消費市場發展可能會被視作“圣盤”，因為它雖然會帶來高的貨運量，但是同時也會招致嚴厲的懲罰——極大的價格壓力!

　　因此，為了保持競爭力，迫使MEMS行業要不斷創新。MEMS與生俱來就具有創新的能力，這種創新能力最早始于其極具創新性的設計、創新性的結構、以及創新性的封裝技術等。例如，在博世(Bosch Sensortec)公司首次在專用集成電路ASIC中引入硅通孔技術(TSVs)(Through Silicon Vias)，并在3軸加速器上采用了晶圓級芯片規模封裝技術(WLCSP)之后，與其競爭對手(STMicroelectronics和mCube) 相比，公司產品的封裝尺寸減小至55%。此項技術突破幫助他們減小了硅芯片的尺寸，并因此保持在嚴格的降低成本要求的軌道上。由于這種創新競賽從未停止過，因此，其競爭對手mCube憑借其MC3600系列加速器超過原先領先的博世公司(Bosch Sensortec)，重新居于領跑地位。