一種采用CMOS 0.18μm制造的帶EBG結構小型化的片上天線

最近幾年，一些研發人員陸續提出了無線互連、WCAN（無線片上局域網）等概念。其主旨思想是利用無線通信的模式，通過自由空間有效的收發射頻或微波信號來實現芯片上或芯片間的信號傳輸，以達到無線互連的目的，從而代替原有的金屬互連線。該方法在一定程度上解決了現有金屬互連線的極限問題，同時有利于SOC（片上系統）的進一步完善。

本文提出了一種新的帶EBG諧波抑制的小型化片上天線。EBC結構的加載不僅減小天線的尺寸，同時抑制了天線的三次諧波。

1天線的設計和仿真

本文設計的帶EBG結構的小型化片上天線采用TSMC 0.18μm的工藝仿真和制造。圖1為該工藝的剖面圖。第六層金屬（M6）用于制備本設計的天線層。該工藝硅襯底的電阻率為20Ω。cm.

1.1小型化EBG結構

圖2為本設計采用的一維EBG的結構圖和等效電路圖。從圖2 （b）可以看出，該EBG可以看做一個等效電感和等效邊緣電容的并聯。由于該EBC結構是直接放存金屬地面上的，因此需要通過一對串聯的電感電容與地相連，串聯電容的大小與CMOS工藝中各介質層的厚度及介電常數相關。當該EBG的工作頻率在該等效電路的并聯諧振頻率點附近時，就產生了帶阻特性。

圖3為仿真的該EBG結構的S21特性，從圖中可以看出，在60 GHz附近，該EBC結構的S21可以達到-26dB，具有帶阻特性。

1.2帶EBG結構的片上天線

我們將圖2中的EBG結構應用到片上天線的設計中，如圖4所示。該EBG結構加載到一根片上偶極子天線的輸入端。該一種小型化具諧波抑制功能的偶極子天線的長度為1.6mm.

圖5為本設計的片上天線對的仿真布局圖及仿真所得的S參數。一對帶EBG結構的片上偶極子天線相距3 mm的距離相對放置在地面上。仿真所得的該天線的諧振頻率為20 CHz.通常，在硅襯底（εr=11.9）上，工作在20 GHz的普通片上半波偶極子天線長度大約為4 mm，而本次設計的天線長度僅為1.6 mm，極大的縮短了天線的尺寸。

同時，該帶EBC結構的小型化片上天線在三次諧波附近（60 GHz），其S21為-63 dB，其三次諧波被極大的抑制。

2天線的制造及測試

圖6為本設計的芯片圖，一對間距為100μm的焊盤與天線的輸入端口連接，用于天線的S參數測試。圖7為該天線的測試環境。一對片上天線面對面的放置在探針臺上，距離為d.該測試采用兩對間距為100μm的GS探針與網絡分析儀的兩個端口相連接，一測試其S參數特性。