雙頻激光測量系統及其在lC加工設備中的應用

　　前言

　　IC加工設備例如電子束曝光機、圖形發生器以及投影光刻機中的精密定位x一y工件臺系統，實際上是帶有座標測量的雙向定位工件臺系統，工件臺系統的定位精度直接影響圖形加工精度。眾所周知，工件臺系統精度是機械結構精度和測量系統精度的綜合，精密定位工件臺的座標測量方法普遍采用激光干涉儀法。因此在設計合理的工件臺機械結構的同時，必須合理選擇高精度、高速度和高可靠性的測量系統。美國HP公司生產的5501型雙領激光側量系統普遍地應用于IC加工設備中。表1列出幾種電子柬曝光機、投影光刻機以及圖形發生器中采用雙頻激光測量精密定位工件臺的技術指標。

　　雙頻激光測量系統的特點

　　以往采用的單頻激光測量系統是一個直流測量系統，接收器接收到的信號是激光相干后產生的光亮暗變化條紋，前置放大器采用直流放大器，該系統必然存在直流光平和直流電平的漂移問題，抗干擾性差，工作不穩定.采用雙頻激光測量系統，激光束是包含有兩個頻率f1和f2且幅值相等的光束，.分別表示為：

　　脈沖數N。由以上分析可見雙頻激光測量系統實際上是一個交流測量系統，前置放大器可采用高倍率的交流放大器，因此無零點漂移，抗干擾性好，工作穩定，光強衰減到90%仍然能得到所需要的信號。國內外IC加工設備廣泛采用美國HP公司生產的5501型雙頻激光測量系統，作為精密定位x一y工件臺的位置測量系統。