用激光平面千涉儀測量光學平板玻璃的平行差

　　平板玻璃是指兩個表平面相互平行的玻璃板。，在加工中，由于加工設備、測量儀器等因素，不可能將兩個表平面加工的絕對平行，總是會形成一定的角度，這個角度就是平行平板玻璃的平行性誤差，用誤差角習表示，見圖1.

　　利用自準直望遠鏡測量平行平板玻璃的平行性誤差是一種最基本的方法，它使用簡便，很容易看出上下表面反射回象所分開的距離

　　所以被廣泛使用。但由于人眼的鑒別力和自準直望遠鏡精度的有限(單管測角儀精度為6“)。所以，我們采用了精度較高的干涉法來測量平行平板玻璃的平行性誤差。

　　測量原理

　　圖2為用等厚干涉條紋測量平行平板玻璃的平行性誤差裝置(實際上就是一臺不帶標準平面的平面干涉儀)。圖3所示激光光源把位于物鏡焦面的小孔照亮，從物鏡射出一束平行光，并且垂直地入射在被測玻璃板上。經過上下兩個表面反射后形成兩束相干光，干涉場位于被測玻璃板的中間，如圖中虛線所示的位置。反射回去的光再經過物鏡后會聚在觀察孔處，兩相干光在觀察孔處形成兩個相互稍稍分開的光源小孔象。人眼位于觀察孔處，并調節至干涉場處，即可觀察到干涉條紋。

　　由物理光學中已經給出，當波長為入的單色光以入射角為i射到折射率為n的玻璃薄板時，由玻璃薄板上表面和下表面分別反射，形成兩束相干光①和②，見圖4。這兩束相干光之間的光程差△可以寫為:

　　如果被測玻璃板兩個表面的平面度良好，則當沒有平行性誤差時，即厚度h處處相等，也就是光程差處處相等，此時所看到的干涉場應是一片均勻的亮度。若有平行性誤差存在時，兩表面有，二夾角0，厚度是變化的，此時光程差也是變化的，所以看到的干涉場內應有互相平行的亮暗間隔，并且間隔距離相等，如圖2中所示在被測玻璃板的寬度為b的AB兩端，厚度分別為hJ和h。