釋放MEMS機械結構的干法刻蝕技術

SVR-vHF氧化物釋放模塊結合現有的memsstar SVR-Xe 犧牲性汽相釋放模塊，利用無水氫氟蒸汽(aHF)來去除犧牲氧化物，從而釋放MEMS機械結構。SVR蝕刻方法可以完全地去除犧牲材料而不損害機械結構或導致黏附，它同時提供了高度的可選擇性、可重復性和均勻性。SVR保留有干燥的表面，沒有任何殘留物或水汽，這也省去了包含在濕法工藝中的表面準備、引入酸、中和以及隨后的干燥等步驟。

SVR與CMOS工藝和CMOS晶圓設施是兼容的，這使得MEMS器件可以像傳統的集成電路一樣在相同的設施和基板上進行生產，這也將適用于新類型的單片MEMS/CMOS 器件。SVR進一步的好處包括減少材料的使用和更低的浪費。