光電子技術在傳感器技術中的應用

　　五、傳感器系統技術參數和特性傳感器系統的技術參數和特性如下： ①靈敏度為1me； ②空間分辨率是可變的，其范圍是0.1~2mm； ③應變大小高達15%； ④測量位置靈活，光柵平面上任一點均可測量； ⑤可進行動態和連續應變測量； ⑥數據采集和處理都是自動化的； ⑦用戶易于觀察系統接口； ⑧結構緊湊，體積小。

　　六、結論新型實用的應變傳感器系統可以只利用一個位敏探測器，這時可用下式計算應變： (17) 無規噪聲引起的應變誤差的標準偏差為： (18) 對比方程(18)和方程(9)可知：利用兩個位敏探測器可大大減少無規噪聲誤差，也可顯著地減小由于激光束與試樣法線方向的偏離所引起的系統誤差。因此，利用兩個位敏探測器不僅可增加應變測量靈敏度和精度，而且可消除無規噪聲誤差和系統噪聲誤差。這種新型應變傳感器優于現有的同類儀器，是精密測量領域的一種實用傳感器系統，可應用于微電子學、高等材料力學、微米力學和納米力學等領域。