MEMS加工-MEMS制造技術

全球共有250家MEMS器件生產企業，產品主要用于滿足自身終端消費電子產品的需要。MEMS應用領域非常廣泛，單個細分市場規模很窄，一家公司以幾億美元規模就能占據1至2個產品龍頭地位。例如，德州儀器占據DLP市場，惠普占據打印機噴墨頭市場，安華高科技占據濾波器市場，ADI、ST、飛思卡爾和美新占據加速度計市場，樓氏占據麥克風市場。為了降低成本、壟斷市場，國際大公司都加大了8英寸MEMS生產線的建設。意法半導體2006年將MEMS生產線升級到8英寸，歐姆龍、飛思卡爾也開始籌建8英寸生產線。

國內MEMS加工產業還處于導入期，北京青鳥元芯及無錫美新半導體占據領先地位。青鳥元芯依托北京大學微電子研究院，成為國內第一家批量生產MEMS微型傳感器的高新技術企業，月產MEMS傳感器達10萬只。無錫美新半導體是全球第一家使用標準CMOS工藝、單芯片上集成混合信號處理的熱對流MEMS慣性傳感器公司；設計生產能力為1500萬片/月，加速計產品500萬片/月，在無錫第二家CMOS-MEMS工廠已經投產，每月可生產1000萬個加速計。但不可否認，國內MEMS制造商的平均生產能力較弱，多數仍采用4到 5英寸的中低端生產線。青鳥元芯就是利用早期從福特公司買來一條二手生產線制造MEMS傳感器。

無錫近鄰蘇州有昆山傳感器產業基地。該基地作為我國唯一生產傳感器的國家級產業基地，形成了以自主知識產權的硅壓阻式MEMS傳感器和變送器為核心的產業鏈，擁有總投資18億元的30家傳感器生產企業。國內MEMS壓力傳感器的龍頭企業—雙橋測控傳感器有限公司與敏芯（蘇州）微電子企業都名列其中。