LCD清洗技術現狀及展望

LCD清洗屬于精密清洗領域，對清洗的質量、效率要求很高，以前，LCD工廠大多使用的是ODS清潔劑和超聲氣相清洗技術，在國際上加速淘汰ODS清潔劑的壓力下，LCD廠正在積極選用替代ODS清潔劑(或稱非ODS清洗劑)，替代清洗劑必須保證清洗的LCD質量不低于原用ODS清洗劑的清洗標準，甚至更高。本文簡單介紹LCD替代ODS清洗技術和不用或少用清洗劑的物理清洗技術，并對其未來的發展進行了簡單評說。

非ODS清洗技術

到目前為止，LCD行業已有15家企業參與了《中國清洗行業ODS整體淘汰計劃》，并獲得國際多邊基會贈款。其中已有10家企業的替代設備投入運行。但仍有少數LCD廠繼續使用CFC-113及TCA。部分已淘汰ODS清洗劑的企業也面臨進一步優選工藝、設備及非ODS清洗劑，以便提高LCD清洗品質及效益的問題。以下討論LCD行業非ODS清洗技術的現狀。

非ODS清洗劑及其工藝路線的選擇

適用于LCD行業的非ODS清洗劑有水基、半水基和溶劑型三種， 水基、半水基清洗劑適用于超聲水洗工藝路線，溶劑型清洗劑適用于氣相超聲清洗工藝路線。表1列舉了各種清洗技術的比較，列舉了部分溶劑型HCFC和 HFC等替代物的基本物化性能指標。

水基、半水基及溶劑型三種替代清洗劑中，水基清洗劑的清洗速度遠遠不及溶劑和半水基型清洗劑。其原因有二：一是水基清洗劑去除LCD殘留液晶以表面活性劑與液晶的乳化作用為主，乳化對超聲波的依賴性較大；二是水的表面張力比溶劑大，對狹縫的濕潤性能較差。而表面張力較低的半水基和溶劑型清洗劑與液晶是一種溶解作用。

可用于直接替代CFC-113氣相清洗劑的溶劑型清洗劑包括HCFC、HFC、n-PB、HFE、低沸點碳氫化合物及其含氧衍生物。其中HCFC類如HCFC141b、HCFC225，因ODP值不等于0，為過渡性替代物;n-PB等鹵代烴在有水存在時對ITO具有較大的腐蝕性，而且n-PB的毒性至今尚無定論；HFC及HFE類的優點是ODP等于0，但價格昂貴，且HFC4310具有極高的GWP值，低沸點的碳氫化合物及其含氧衍生物最大的問題是易燃易爆，使用該類清洗劑必須采用有防爆功能的清洗設備。

基于上述水基清洗劑的清洗效力較低和溶劑型清洗劑的諸多問題。國內外絕大部分LCD企業采用半水基清洗劑作為CFC-113的替代物，使用閃點大于等于61℃碳氫化合物既保證了清洗劑在使用、存儲和運輸過程中的安全性，又利用碳氫化合物與液晶的互溶性，較快的清洗殘留液晶，并輔以表面活性劑經多道水漂洗，可以滿足LCD行業對清洗的品質和效率越來越高的要求。

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