ADXL203型雙軸加速計在傾斜度測量的應用
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1 概述
美國模擬器件公司(ADI)憑借其獨特的iMEMS(集成MEMS)工藝將傳感器單元和信號調理電路集成在一片芯片上，不僅減小器件尺寸、降低功耗和節省成本，同時提高性能和定制生產能力。ADXL203是一款高精度、低功耗及單一的iMEMS型雙軸加速計，具有信號可調的電壓輸出。輸出量為一個與加速度成比例的模擬電壓信號，比例系數達到1 000 mV／g。該加速計既可測量動態加速度，又可以用來實現諸如重力加速度的靜態測量，此時可以替代傾斜角傳感器進行傾斜測量。
2 性能特點
ADXL203典型測量范圍為1.7 g，該加速計既可測量靜態加速度可測量動態加速度，承受3 500 g極限加速度。其下拉電流小于700 μA，靈敏度達到1 000 mV／g。該加速計在-40℃～125℃溫度范圍內，具有0.3％的溫度靈敏性；+25 mg的零點偏移精度；在小于60 Hz的帶寬下具有小于1 mg的解決方案(0.06傾斜)以及優于0.1 mg／℃穩定性。采用5mm5 mm2 mm的LCC封裝。ADXL203的引腳排列及引腳功能分別如圖1和表1所示。
3 工作原理
ADXL203內部電路框圖如圖2所示。傳感器輸出幅值與所測加速度成正比的方波信號，經過信號交流放大、相敏檢波、低通濾波，得到與加速度成比例的電壓信號。
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