吉時利宣布新系統在200毫米晶片的測試時間內完成對300毫米的晶片測試
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對現有S600系列系統在成本效率方面的升級增強了S680DC/RF系統的軟件和硬件，這繼續了該平臺作為行業領先的資本器件在多代科技間的重復使用。因此，該系統可擴展的平臺可以輕而易舉的適應新的測量要求，如那些與減少設計規則、新的過程、新的材料以及新的器件相關的測量要求。
應用背景。全球的半導體晶片制造商都使用吉時利的S600系列系統在整個產品工藝中對關鍵器件參數進行測量，以保證產品的性能和穩定性。它們被應用于眾多的測試環境，包括工藝控制、工藝與器件的整合和優化、器件鑒定、晶片驗收測試、甚至還用于器件模型和定性。但是，行業的發展趨勢正逐漸聚焦于在測試成本一定的前提下提高測試靈敏性。這些發展趨勢包括更大的IC密度、300毫米晶片上更多的IC、試樣量的成比例增長、以及從產品組合轉向成本/價格靈敏性更高的模擬以及混合信號器件。要提高此種組合的收益率，提高測試處理能力以及降低測試成本是至關重要的。
S600系列測試裝置一直結合了高速的處理能力、優異的測量完整性以及廣泛的測試靈活性于一身。S680 DC/RF系統硬件和軟件的升級不僅加強了這些性能，而且更進一步提高了測量的速度并降低了測試成本。通過最大化器件和測試程序的重復使用以及簡化向新材料和新器件的轉換，這些系統會使測試成本繼續降低。新一代半導體技術節點的升級路徑已經十分明了。由于S680DC/RF系統的軟件結構與其它S600系列測試裝置的軟件結構相同，它還在最大限度上減少了增加新測試裝置時需要進行的工程師和操作員培訓.
產品詳情。為了創造S680DC/RF系統，吉時利以更加快捷、更加靈活的數字通訊方式對S600系列SMU進行了改進，以簡化并行測試的程序設計。S600系列的每個測試管腳的電子線路設計通過盡可能減小寄生電容和泄漏電流的影響而提高了測試靈敏度。與其它測試裝置不同的是，S680DC/RF系統對于所有的測試管腳（高達64）都提供相同的、高分辨率的測量路徑，因此它是唯一可以為所有器件測量提供100aA和100nV測量分辨率的參數測試系統.
S680DC/RF 系統的40GHz測試可選項使其可以對等效厚度的超薄柵極介質進行精確定性，揭示早前無法看到的結構細微之處。此外，它還為高性能BiCMOS工藝的過程控制提供了s-參數測量。通過不斷為這些以及其它半導體器件提供精確測量，S680DC/RF系統將減去用戶為了驗證數據進行的重復測量，保證用戶以最低的測試成本，在第一次測試就得到正確的結果.
升級的吉時利測試環境軟件KTE 5.1.0不僅保持了KTE最后一次全面發布時具有的功能，還可以根據用戶和場地的要求提供增強和改進。KTE的核心和眾多可選功能使得它可以在最短的測試時間內提供最高的數據完整性，且錯誤處理材料最少。測試結果可以輕松的輸入到一系列使用廣泛的器件模型提取軟件，如BSIMPro、IC CAP以及UTMOST。KTE的安裝、執行引擎以及數據分析界面一直被證明是所有參數測試系統中使用最簡便的系統.
KTE AdapTest軟件模板增加了晶片測試過程的智能因素，使用它可以進一步提高測試處理能力。使得S680DC/RF系統可以根據測試結果實時自動改變測試計劃，以減少對好晶片的非關鍵參數進行的測量。AdapTest適于處理類似自動一級過程診斷（出現未預料到的結果）的情況以及對已知的好點進行重新測量。使用此軟件模板還可以對好的探針-接觸點進行自動的電測檢驗，包括探針頭清潔。S680DC/RF系統將提供一個與完全自動環境進行整合的完整操作模型，包括測試方法版本控制以及自動輸出接口.
對于特殊的測試要求，我們可以提供更多的儀器選擇，包括遠程測試頭前置放大器、C-V表、脈沖發生器、LCR表、頻率計數器以及頻譜分析儀。這樣的靈活性使得該系統可以應用于硅和III-V器件、RF-BiCMOS模擬工藝、最新的低漏電器件、先進的存儲器件、新材料、以及無線通訊IC需要的低噪音測試.
價格與供應。吉時利公司目前已經開始發運S680DC/RF系統。請聯系工廠咨詢價格事宜.
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