應用在軍用與航天領域的MEMS壓力傳感器迅猛增長

　　廠商與產品

　　MEMS供應商提供不同的集成水平。例如，美國霍尼韋爾可以生產傳感器，也可以生產完整的系統。美國Kulite Semiconductor Products向波音、空中客車、Canadair和Embraer供應傳感器，并向許多直升機與軍用項目提供產品。

　　美國Eaton Corp.可能購買MEMS傳感器，并將其整合到壓力變換器之中，但它也像霍尼韋爾一樣同時生產子系統。而美國GE Druck在英國萊斯特擁有一個4英寸硅片生產線。

　　MEMS壓力傳感器介紹

　　就是采用MEMS技術制造的壓力傳感器。MEMS是微機電系統（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文縮寫。MEMS是美國的叫法，在日本被稱為微機械，在歐洲被稱為微系統，它是指可批量制作的，集微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統。MEMS是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的，目前MEMS加工技術還被廣泛應用于微流控芯片與合成生物學等領域，從而進行生物化學等實驗室技術流程的芯片集成化。