蘇州工業園MEMS中試量產平臺運行良好

日前，蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司傳出消息，其公司負責的MEMS中試量產平臺（以下簡稱“平臺”）目前運行良好，已服務客戶60余家、產品180余顆，2019年預計出貨超過20000片6寸片，年出貨量在全國代工線中名列前茅。

MEMS制造環節門檻高、技術含量高，是制約中國MEMS產業發展的瓶頸，也是從實驗室到可銷售產品的最核心的支撐環節。為構建“研發——中試——規模生產”完整的MEMS產業鏈鏈，加快MEMS企業創新和規模化成長過程，2013年，蘇州納米科技發展有限公司（蘇州工業園區國資辦下屬國資公司，以下簡稱納米公司）代表蘇州工業園區管委會，策劃籌建了蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司MEMS中試量產平臺（以下簡稱“平臺”）。

平臺得到了工信部等各級政府支持，以支撐蘇州工業園區及中國MEMS產業發展為主要使命，完全按照代工模式建立，服務于各類企業、科研院所、研發機構、創業團隊，提供研發支持、代工服務，全開放、市場化運營，從根本上解決MEMS設計企業產品化的難題。

平臺2014年首顆產品通線，2017年真正實現量產，經過多年的努力，形成了一支完整的高水平技術團隊，積累了國內種類最多的MEMS產品量產經驗，申請了60多項發明專利，已成為國內工藝種類最全、部分工藝能力最強的MEMS代工線。另外，平臺已與日本愛發科簽署戰略合作協議，共同開發下一代MEMS關鍵技術——PZT壓電薄膜MEMS傳感器，明年年初將成為國內首個可量產PZT MEMS器件的產線，為國內企業搶抓下一代MEMS產品先機提供了堅實的基礎。在此基礎上，平臺正計劃建設8英寸線，更好地支撐國內MEMS產業發展。