論SMI SM95D/G在充油芯體領域應用

　　圖五

　　圖六

　　SM95D/G在充油芯體上應用測試：

　　我們利用SM95D通過標準生產工藝對其進行粘片、壓焊等，最后生產出壓力傳感器成品(壓力芯體)，測試其參數性能，測試芯片為SM95系列中1KPa差壓型Die，型號為：SM9520-010M-G-D，芯片封裝形式如圖七，芯片測量壓焊如圖八。

　　圖七

　　圖八

　　通過以上壓焊工作后，對傳感器自身參數進行測試，其溫度漂移實測表如表一。

　　表一

　　將基于SM9520-010M-G-D的芯體做到變送器進行TC零漂、正反行程、靈敏度等參數實測，其測試數據如表二。

　　表二

　　通過以上測試數據可以看出，SM95系列在壓力芯體上的應用對靈敏度溫漂和零點時漂測試，同樣對重復性和遲滯進行測試，其性能指標均能達到行業較高水平。該芯片可以作為陶瓷封裝芯片使用也可作為充油方式使用。

　　結束語：

　　基于SMI公司的SM95D/G系列表壓及差壓型微壓壓力芯片(DIE)從產品內部結構、工藝技術以及實際應用到變送器上測試的角度來說，其在壓力芯體上的應用參數性能均達到較高水平，其1KPa及10KPa型號非常適合用在壓力充油產品上，希望大家根據不同的應用及壓力參數要求選擇合適的壓力芯片。

　　參考文獻：

　　1、SM95D-G_Datasheet

　　2、SMI compressed

　　3、SMI芯片測試報告 2017-8-17