小電流測量漏流和保護II

保護亦可用于減小電纜連接中的漏流。圖12所示為驅動保護防止電纜的漏泄電阻影響小電流測量的原理.在無保護的配置中，同軸電纜的漏阻與DUT并聯(RDUT)，產生不希望的漏流(IL)。該漏流將影響極小電流的測量。
在保護電路中，三軸電纜的內芯屏蔽被連接至SMU的保護端子。現在，該屏蔽由一個單位增益低阻放大器(保護)驅動。Force HI端子和保護端子之間的電勢差接近0V，所以漏流(IL)可忽略不計。


圖12.利用保護減小電纜連接中的漏流
為了查看測量極高電阻時三軸電纜和同軸電纜的結果，圖13中繪出了采用10V階躍函數測量100GΩ電阻的測量電流和時間的關系圖。三軸電纜通過使用保護，以兩種方式改善了測量：1)它減小了有效電纜電容，從而降低了測量的RC時間常數或建立時間；2)防止電纜中的漏流對測量準確度造成不利影響。


圖13.使用同軸電纜和三軸電纜測量高阻的結果比較
從圖13可知，利用帶有保護的三軸電纜進行測量，漏流較小(低幾個pA)，建立時間更短(大約快10倍)。如果SMU必須連接至采用BNC連接器的測試夾具，請在SMU和測試夾具之間使用吉時利三軸電纜，然后再將BNC連接至三軸適配器(去掉了保護)，從而將電纜連接至測試夾具。