C-V測量技術、技巧與陷阱——基于數字源表的準靜態電容測

在準靜態電容測量[1]中，我們通過測量電流和電荷來計算電容值。這種“斜率”方法使用簡單，但是它的頻率范圍有限（1～10Hz），因而只能用于一些特殊情況下。


SMU1-力常數SMU2-測量
圖3.準靜態C-V“斜率”測量方法
斜率測量方法只需要使用兩臺數字源表（SMU）[2]。通過第一臺SMU將一個恒定電流加載到待測器件（DUT）的一個節點上。這臺SMU還負責測量該節點上的電壓和時間。同時，第二臺SMU測量DUT另一個節點輸出的電流。然后可以利用下列公式計算出電容：
I = C dV/dt or C = I / (dV/dt)

這種方法通常可用于測量大小為100～400pF斜率為0.1～1V/S的電容。

利用射頻技術[3]測量電容
傳輸線的電容測量通常采用射頻技術。其中利用矢量網絡分析儀測量散射參數（S參數），即入射波的反射和傳輸系數。