儀器測量中靈敏度/分辨率的挑戰

　　儀器的用戶友好性具有重要意義，無論對研究者還是那些選取新的發現并將其轉化為實際產品的設計工程師和制造專業人員來說，都是如此。最新型的電氣測量系統應當基于PC，支持人們熟知的Windows操作系統所特有的點－擊、剪切－粘貼和拖－放功能。這些系統功能可以縮短學習曲線，從而讓測試的建立、執行和分析在時間上更富有效率。

　　第三個測試方面的挑戰是靈敏度和分辨率。儀器的靈敏度一般是由其最低的測量范圍除以分辨率來量度的。分辨率是可以觀察到的信號的最小比例。圖1所示的曲線證明了這一指標的重要意義，圖中示出了納米級金屬－氧化物半導體場效應晶體管（MOSFET）的柵極漏電流的測量結果。所測量到的電流的范圍從30fA變化到約170fA。這一測量需要的電流靈敏100aA（100E－18A）。無論何種情況，所要求的靈敏度都取決于應用。

圖1：納米MOSFET的柵極漏電流范圍是30fA至約170fA