基于全耗盡平面晶體管技術的NovaThor平臺設計

隨著智能手機功能最近不斷升級演化，消費者的期望值日益攀升。速度更快的多核高主頻CPU處理器、令人震撼的3D圖形、全高清多媒體和高速寬帶現已成為高端手機的標配。同時，消費者還期望手機纖薄輕盈，電池續航能力至少與以前的手機持平。對于手機廠商和設計人員來說，消費者的期望意味著移動芯片需具備優異的性能，同時兼具低成本和低功耗。全耗盡平面晶體管技術 （FD-SOI:Fully Depleted Silicon on Insulator），是滿足這些需求的最佳解決方案。

　　在2012年移動通信世界大會上（Mobile World Congress），意法。愛立信首席執行官Didier Lamouche證實我們的下一代NovaThor平臺，即NovaThorL8540的后續產品，將采用28nm FD-SOI制造工藝。

　　FD-SOI技術目前已經可供芯片開發使用，該技術將會使28nm工藝制程的芯片產品在性能和功耗方面有顯著的提升。因為工藝復雜程度相對較低，FD-SOI解決了制程升級、泄漏電流和可變性等問題，能夠將CMOS制程節點進一步降至28nm或28nm以下。

　　像FinFET技術一樣，FD-SOI最初是為20nm節點及以下開發設計的，能夠突破傳統體效應CMOS制程升級的限制因素，例如，高泄漏電流和終端設備多樣性的難題；但是，又與FinFET技術不同，FD-SOI保留了傳統體效應CMOS工藝的平面結構復雜度相對較低的優點，這可加快工藝開發和量產速度，降低現有設計的遷移難度。意法愛立信、意法半導體、Leti 和Soitec的技術合作讓我們能夠在28nm技術節點發揮FD-SOI的優勢：先進性能、具有競爭力的處理速度/泄漏電流比和優化能效。

　　在寬電壓范圍內性能領先

　　下圖比較了在慢工藝角（SS）和環境溫度最惡劣時ARM Cortex-A9 CPU內核的一個特定關鍵通道能夠達到的最高頻率-Vdd電源電壓曲線。

　　每條曲線代表一個特定的28nm制程：

　　.28HP-LVT是用于移動設備的高性能體效應CMOS工藝，瞄準高性能移動設備CPU,具有處理速度快和柵極氧化層薄的特點，因此，從可靠性看， Vdd 過驅動能力有限（~1.0V）。

　　.28LP-LVT 是一種低功耗的體效應CMOS 工藝，過去用于低功耗移動應用，LP 基于柵氧化層更厚的晶體管，支持更高的過驅動電壓（高達1.3V）。

　　.28FDSOI-LVT是意法半導體開發的28nm FD-SOI工藝，柵極結構與28LP相似，也支持1.3V過驅動電壓。

　　在這三種工藝中，只考慮低壓閾值（LVT），因為處在這樣的電壓下時處理性能最高。

　　1.首先觀察到的是，在標稱電壓（HP=0.9V,LP=1.0V,FD-SOI=1.0V）時，FD-SOI的峰值性能與HP工藝相似；在Vdd電壓相同時，性能比LP高35%.

　　2.此外，隨著Vdd 電壓升高，FD-SOI的性能進一步提高，而 HP 工藝無法承受更高的電壓，因此，前者的綜合峰值性能高于后者。

　　3.在工作電壓過低時，如Vdd=0.6V, LP將無法運行或性能很低；FD-SOI與HP工藝相當甚至高于HP工藝，但是前者的泄漏電流和動態功耗要比后者低很多，我將在后面的內容中給予說明。

　　4.相比體效應CMOS工藝，FD-SOI的工藝可變性低，在適合CPU處理非密集型任務的頻率（200MHz-300MHz）時，能夠支持更低的工作電壓（最低0.5V），例如，硬件加速音、視頻播放。