日本TOOL公司率先支援光罩設(shè)計(jì)新格式OASIS

在日本舉辦的設(shè)計(jì)自動(dòng)化會(huì)議（Design Automation Conference，DAC）上，日本TOOL公司率先推出支援光罩設(shè)計(jì)資料新格式OASIS（Open Artwork System Interchange Standard）的瀏覽器產(chǎn)品 - LAVIS。TOOL公司期待此產(chǎn)品能成為源自日本的世界標(biāo)準(zhǔn)工具。

OASIS是由Mentor所提出的標(biāo)準(zhǔn)，其目的是要成為取代業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)GDS-II的下一代格式，目前已成SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）標(biāo)準(zhǔn)。

據(jù)TOOL公司表示，LAVIS文件夾大小平均GDS-II的1/10，最大可達(dá)到1/50。另外，處理此類格式資料的軟體所占用的記憶體也相應(yīng)減少了很多。目前可通過OASIS實(shí)現(xiàn)1nm的最小精度。

座標(biāo)最大值方面，GDS-II32位元數(shù)的整數(shù)，而OASIS可變長(zhǎng)度整數(shù)，可擴(kuò)展至64位元整數(shù)，因此導(dǎo)入OASIS之後，可顯示的座標(biāo)值也更大了。

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