淺析全硅MEMS振蕩器和傳統石英的區別

如果說很多人把MCU或SoC主芯片比喻為現代電子系統的大腦，那么時鐘組件當之無愧是其心臟。無論是電子工程師還是元器件采購者，在選擇時鐘組件時都會經過全面嚴謹的評估。因為一顆健康、穩定、持久的“心臟”，將直接影響到電子系統的功能和可靠性。

　　時鐘組件可分為無源晶振、有源晶振和多輸出時鐘發生器三大類產品。在過去60年中，石英作為時鐘市場的主流技術，一直占據著霸主地位。但由于其受到傳統制造工藝的限制以及下游原材料(起振電路和基座)市場的壟斷，因此性價比無法進一步提升。為了滿足電子市場對元器件提出的更小、更可靠、更靈活的需求，時鐘組件必須走上全面硅化的道路。這篇文章將主要介紹全硅MEMS振蕩器和傳統石英的區別，以及全硅IC技術所解決的問題。

　　石英和全硅MEMS時鐘振蕩器簡介

　　傳統的石英振蕩器是由壓電石英加上簡單的起振芯片和金屬封裝組成的，其生產工藝包括：石英切割鍍銀、購買基座、起振芯片，以及將石英及芯片以特殊黏膠結合后至于基座上，然后充填氮氣，用金屬封裝進行密封。而不同頻率、不同工作電壓振蕩器的產生，則是由石英的不同形狀、鍍銀厚度及所佩的起振芯片所決定。所以，從生產工藝角度，石英產業是一個人工密集型的半自動化傳統產業，其產品也受到傳統原材料和工藝的限制：

　　1. 復雜的生產程序導致供貨期的拖長及缺貨應急困難的現象;

　　2. 不同振蕩器規格需不同原料不同工藝，從而使成品缺乏靈活性，無法為滿足不同應用而進行實時配置;

　　3. 壓電石英對溫度敏感度高的特性，造成石英振蕩器的溫飄煩惱;

　　4. 石英易碎怕摔老化的弱點需靠生產工藝和質量管理來解決，缺乏質量和長期可靠性的一致性。

　　電子系統廠商為求從根本上解決石英的內在弱點，因此在時鐘組件的選料上開始轉向全硅MEMS振蕩器。與傳統石英振蕩器截然不同，MEMS振蕩器采用了全硅的產品結構，有一個全硅MEMS諧振器和一個可編程Analog CMOS驅動芯片堆棧，并以標準QFN IC封裝方式完成。圖1為SITIME MEMS振蕩器透視圖。

　　圖1 全硅MEMS振蕩器展示圖