應用材料公司推出業界最高產量CVD工藝主機

應用材料公司推出業界最高產量CVD工藝主機－ Applied Producer GT


近日，應用材料公司宣布推出業界最快速最經濟的CVD（化學氣相沉積）主機 － Applied Producer® GT™，把硅片生產能力提升到了一個新的水平。該產品每小時可處理150片硅片，產量達到其他競爭系統的兩倍，從而降低了30%的擁有成本，并將單位面積每小時硅片處理數量提高了50%。Producer GT全面支持所有應用材料的PECVD（等離子強化化學氣相沉積）技術應用，并囊括了超過30項世界級已被生產驗證的工藝。

應用材料薄膜事業部資深副總裁兼總經理Farhad Moghadam博士表示：“ Producer GT具有高速的處理能力、低廉的擁有成本和已被驗證的工藝結果, 這正是我們客戶夢寐以求的產品。 隨著尖端器件所使用的薄膜變得越來越薄，沉積工藝設備必須具備更快的速度和更高的效率，從而將制造廠的利用率最大化。Producer GT開發于我們極其成功的Producer系統之上。45納米及更小節點上全系列PECVD（等離子加強化學氣相沉積）的應用都可以直接在這個更快的主機上實現。客戶對于GT的良好反應讓我們非常振奮，產品的市場需求也很旺盛。”

Applied Producer GT主機出色表現的關鍵來自于FX機械手，它可以同時傳遞4片硅片，從而使配置3個Twin Chamber® 的Producer GT的生產能力最大化。該主機的雙層進片腔縮短了硅片傳送時間，提高了反應腔利用率。 旨在降低缺陷的硅片傳送部件設計在保持高產能的同時，使來自于機械運動所產生的顆粒污染降低了30%。 高容量的廠區界面最高可支持4個FOUP（前端開口統一規格硅片盒），具有高效率的運作和整合于其中的測量能力。Producer GT還經過重新設計，大大提升了產品適用性，最高可降低25%的預防性維護時間。 

應用材料公司的Metron事業部還提供定制節能真空泵和尾氣處理系統套裝，最高可進一步減少40%的運行成本。Marathon™ 8600是唯一單機就能支持Producer GT的三反應腔設計的尾氣處理系統。