一種單軸MEMS陀螺儀信號處理電路設計
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CV轉換模塊的原理如圖5所示，其中虛線部分表示機械部分單軸等效電容。該結構采用輔助運放抵消了等效電容的共模部分，只對等效電容的差模部分敏感，并采用時序控制開關電容電路以得到更高的增益和更低的噪聲性能。該電路的輸入輸出關系為
4 仿真結果
MEMS陀螺儀信號處理芯片采用TSMC 0．35μm2P4M工藝實現，版圖面積為4 mm×4 mm，整體版圖如圖6所示。本文引用地址：http://www.104case.com/article/172299.htm
仿真結果如圖7和圖8所示，圖7表明驅動環路能夠穩定工作，圖8的波形是75°／s(100Hz)輸入角速度的輸出波形，輸出電壓峰值為0.5V。
5 結束語
MEMS陀螺儀信號處理電路是實現MEMS陀螺儀產業化的關鍵，文中設計了一種單軸MEMS陀螺儀信號處理電路，并基于TSMC 0．35μm 2P4M工藝實現。MEMS陀螺儀的難點是系統分析，文中分析了閉環驅動穩定性，并設計了一個對傳感器電容共模部分不敏感的CV轉換模塊，仿真顯示MEMS陀螺儀整體工作正常，具體指標如表1所示。
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