利用濕式蝕刻工藝提高LED光萃取效率之產能與良率的方法
加入技術交流群
VI.化學品供應系統：化學液之補充體積的精確度要高。
VII.外延片自動傳送系統：外延片傳送可保證連續順利傳送達400 Runs,以確保制造上之良率。
圖12、弘塑科技設計制作之高溫磷酸濕式蝕刻自動化量產設備。
結論
本文已針對藍寶石基板之高溫磷酸濕式蝕刻工藝，以及其工藝設備在設計制作上必須考慮哪些因素，進行詳細探討。由于LED之藍寶石基板化學濕式蝕刻工藝，可藉由基板表面幾何圖形之變化，來改變LED的散射機制，或將散射光導引至LED內部，進而由逃逸角錐中穿出，所以成為增加LED光萃取效率的有效技術。目前LED業界特別考慮到如何降低成本與增進產能，并且又要合乎環保與工業安全等需求，可以預見地具備操作自動化與工藝標準化之系統設備，將成為未來LED生產線量產之競爭主力。
電容式觸摸屏相關文章:電容式觸摸屏原理
評論