國產100納米制造裝備初步實現產業化

     北京地區正在成為我國集成電路裝備制造業的龍頭。9月28日，芯片制造六大裝備中的兩種——刻蝕機和離子注入機的采購合同在北京簽訂，標志著國產100納米制造裝備初步實現了產業化，中國集成電路制造核心裝備由此取得歷史性突破。這一突破能使芯片成本降低，令百姓直接受惠。 
　　一個家庭有100顆芯片 

　　“一個城市的普通家庭有約100顆芯片。”市工業促進局電子信息產業發展處處長梁勝告訴記者。沒有芯片，我們看不了電視，用不了手機，聽不了MP3。沒有了小小的芯片，我們的生活將會完全變樣。 

　　梁勝介紹說，芯片制造是一個復雜的過程，“生產一顆小芯片共有400多道工序，對精度要求極高，比如刻在芯片上的小槽，只有頭發絲的1/1000那么細。” 

　　各環節中，門檻最高和影響成本最多的就是芯片的制造裝備。其中，刻蝕機和離子注入機兩種裝備則是生產線上的關鍵。 

　　“以前，我國所有8英寸及以上水平的生產線上，沒有一臺國產設備(8英寸指硅片的大小，硅片越大，效率越高，但對技術要求也越高)。”梁勝介紹說。此前的芯片制造裝備必須依靠國外，建一條芯片生產線，幾乎80%的投資是用于購買裝備。但國際上對出口中國的這類設備一直是嚴格控制的，而且即使賣給我國，也將昂貴的制造成本一并轉移過來。“如果有了自己生產的裝備，我們的成本要便宜三分之一。” 

　　縮短與國際先進水平距離 

　　2002年11月，科技部同意北京市政府啟動“100nm高密度等離子刻蝕機與大角度離子注入機”項目。北京電子控股公司聯合清華大學、北京大學、中科院、七星集團等股東組建北方微電子公司，承擔等離子刻蝕機的研發任務。中國電子科技集團聯合48所、45所組建北京中科信電子裝備公司，承擔離子注入機的研發任務。 

　　9月28日，全球知名的芯片代工廠中芯國際公司與北方微電子公司、中科信公司分別簽訂了刻蝕機和離子注入機的采購合同，合同總價值超過1億元人民幣。這標志著北京市承擔的國家“十五”863計劃集成電路制造裝備重大專項——100納米高密度等離子刻蝕機與大角度離子注入機初步實現了產業化，在芯片制造核心裝備研發方面的技術創新、自主創新取得了重大突破。 

　　所謂100納米，指的是硅材上刻的小槽寬度，從以前的0.25微米、0.18微米一直到0.13微米，直到現在進入納米。這個數值越小，意味著芯片的精確度和集成度越高。 

　　“這個重大的創新打破了國際壟斷，降低了芯片成本，能直接令老百姓受惠，在市場上買到更便宜的電視機、手機、電腦等等。”梁勝說。 

　　據介紹，北京市于2002年啟動了100納米高密度等離子刻蝕機與大角度離子注入機項目。我國的芯片制造裝備技術本來與國際先進水平起碼差15至20年，這兩種設備研制成功后，現在只差5年的距離了。 

　　目前，8英寸產品已經產業化，12英寸的刻蝕機和離子注入機已基本具備了上線測試的條件，預計年底就可以進入生產線進行在線測試。