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        國產首臺套LED核心裝備成功下線

        —— 為下一步投入市場、大規模產業化奠定了基礎
        作者: 時間:2012-12-16 來源:電子信息產業網 收藏

          上海有限公司研制開發的核心制造裝備——— 金屬有機物化學氣相沉積()設備日前成功下線,該公司已與我國臺灣一家光電公司簽訂了37臺套設備應用驗證合同,為下一步投入市場、大規模產業化奠定了基礎。

        本文引用地址:http://www.104case.com/article/140126.htm

          作為重要的新型綠色光源產品,設備是整個照明產業鏈中最關鍵的制造裝備,其設備成本占整個芯片設備成本的50%左右。由于技術含量高,制造工藝復雜,目前全球的設備市場主要被國外兩家設備供應商所壟斷。

          上海設備有限公司利用不到兩年的時間自主研制了具有單腔產能84片2英寸外延片的單腔體MOCVD反應腔,以及3腔體252片產能的簇式多腔體自動化MOCVD系統,突破了國外同類MOCVD裝備的技術開發壁壘。



        關鍵詞: 理想能源 LED MOCVD

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