國產(chǎn)首臺(tái)套LED核心裝備成功下線

　　上海理想能源有限公司研制開發(fā)的LED核心制造裝備——— 金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)設(shè)備日前成功下線，該公司已與我國臺(tái)灣一家光電公司簽訂了37臺(tái)套設(shè)備應(yīng)用驗(yàn)證合同，為下一步投入市場(chǎng)、大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化奠定了基礎(chǔ)。

　　LED作為重要的新型綠色光源產(chǎn)品，MOCVD設(shè)備是整個(gè)LED照明產(chǎn)業(yè)鏈中最關(guān)鍵的制造裝備，其設(shè)備成本占整個(gè)芯片設(shè)備成本的50%左右。由于技術(shù)含量高，制造工藝復(fù)雜，目前全球的MOCVD設(shè)備市場(chǎng)主要被國外兩家設(shè)備供應(yīng)商所壟斷。

　　上海理想能源設(shè)備有限公司利用不到兩年的時(shí)間自主研制了具有單腔產(chǎn)能84片2英寸外延片的單腔體MOCVD反應(yīng)腔，以及3腔體252片產(chǎn)能的簇式多腔體自動(dòng)化MOCVD系統(tǒng)，突破了國外同類MOCVD裝備的技術(shù)開發(fā)壁壘。