海洋光學(xué)NanoCalc實(shí)現(xiàn)精確薄膜分析

　　海洋光學(xué)的NanoCalc系統(tǒng)利用了光譜反射測(cè)量技術(shù)，為半導(dǎo)體、醫(yī)療和工業(yè)環(huán)境領(lǐng)域的客戶提供光學(xué)薄膜厚度的精確測(cè)量。新款預(yù)配置NanoCalc系統(tǒng)面向客戶及新型應(yīng)用，適合深紫外到近紅外波段的檢測(cè)。

　　NanoCalc系統(tǒng)適用于多種波長(zhǎng)、多種采樣方式以及光學(xué)厚度(1.0nm-250um)要求。用戶可以在4種標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)中(涵蓋~200-1700nm)做出選擇，并且將它們與軟件、反射探頭、光纖和各種附件整合到一起。對(duì)于可見(jiàn)光譜(400-850nm)或者紫外可見(jiàn)光譜(250-1050nm)的應(yīng)用，用戶可以通過(guò)選擇預(yù)配置的系統(tǒng)，使操作更加便利。這個(gè)預(yù)配置的系統(tǒng)包括NanoCalc，反射探頭、樣品臺(tái)、標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階膜厚Si-SiO2晶片以及可以分析10層薄膜的軟件。

　　為了滿足要求更高的應(yīng)用環(huán)境，NanoCalc系統(tǒng)可以與大量的擴(kuò)展軟件、光纖以及諸如掃描平臺(tái)、顯微鏡和微光斑聚焦裝置等測(cè)量附件一同使用。

　　在減反射硬質(zhì)涂層、太陽(yáng)能電池板上的非晶硅、OLED顯示面板、光刻膠等膜厚測(cè)量領(lǐng)域，NanoCalc系統(tǒng)將發(fā)揮尤為重要的作用。

　　客戶定制的NanoCalc系統(tǒng)還可以在現(xiàn)場(chǎng)、多點(diǎn)或者真空測(cè)量中實(shí)現(xiàn)附加的用戶控制。用戶可以自由選擇合適的光纖組件或者反射探頭。此外，用戶還可以通過(guò)其他軟件或者是利用軟件附加功能(包括遠(yuǎn)程控制、在線控制、掃描以及多層測(cè)量)控制NanoCalc的功能。