晶圓代工廠TowerJazz和新加坡微電子研究院合作開發MEMS產品

　　晶圓代工廠TowerJazz日前宣布的新加坡微電子研究院(IME)擴大合作開發8英寸微機電系統(MEMS)芯片的協議。雙方合作開發的產品包括慣性傳感器、壓力傳感器以及為第三方MEMS公司開發的硅片集成微反射鏡系統等。TowerJazz 表示，雙方未來的合作還將擴大到硅通孔(TSV)及先進封裝、3維芯片集成、光電子和納米電子等領域。