MOCVD國產化之路漫漫

　　天龍光電發布公告稱，已與華晟光電簽訂合同，共同在常州合資成立獨立法人的中外合資公司，主要從事MOCVD設備及外延工藝的研發、生產、銷售、及售后服務，成為市場關注的熱點。

　　2011年中國MOCVD增量有望最大 全球巨頭主導MOCVD設備供應

　　2010年全球MOCVD新增安裝量中，韓國增量最多，其次是臺灣地區。根據SEMI(國際半導體設備及材料協會)統計，中國大陸今年MOCVD新增量在160-180之間，居全球第三。另外，根據SEMI統計和分析，結合MOCVD供應情況，2011年中國MOCVD新增量份額有望達到全球的40%，而其它地區的增量能會保持與2010年相當的水平或下降。

　　MOCVD作為LED最核心環節的外延片生長關鍵設備，也是制造環節中單項投資最大的設備。目前可以提供工業化生產MOCVD設備制造商有限，集中程度較高，主要在歐美和日本。在全球LED產業的發展帶動下，近年來MOCVD的一直處于供應緊張的狀態，設備到貨期不斷被延長。中國MOCVD的供應商主要集中在兩家，美國的Veeco和德國AIXTRON。

　　并不順利的MOCVD設備國產化之路 短期內難有突破

　　中國MOCVD設備國產化之路一直走的并不順利，只能夠生產用于科研的小型MOCVD設備，目前尚無能夠提供用于成熟工業化生產的MOCVD設備廠家，但是近來有幾家國內設備科研和生產單位給出了設備國產化的時間表。

　　AIXTRON內部人士透露，AIXTRON預計2011年營收額將達4.5億歐元(約40.43億元人民幣)，其中中國市場將占其總營收的4成，也就是1.8億歐元(約16.17億元人民幣)。

　　面對如此誘人的數據，就不難解釋天龍光電此次在LED外延核心設備MOCVD上的大動作。不僅僅是天龍光電，近幾年，國內已有十幾家公司或機構研發出多臺MOCVD樣機，如中科院半導體所、昭信集團與華中科技大學合作、青島杰生光電和西安電子科技大學合作，但最后都功虧一簣，大都是推出樣機后便不了了之。2010年1月昭信集團MOCVD樣機下線曾鬧得沸沸揚揚，但最終以銷聲匿跡收場。

　　復旦大學方志烈教授表示，生產MOCVD設備不是那么簡單的事情，要不然現在的市場不會僅被AIXTRON和Veeco兩家公司所壟斷。

　　AIXTRON內部人士則表示，不會把這些生產MOCVD設備的公司作為競爭對手。

　　MOCVD 開發挑戰多 少些炒作多些合作和投入

　　LED外延工藝難度很高，外延薄膜質量、工藝均勻性、工藝重復性的嚴格要求對外延工藝開發、MOCVD設備開發提出了巨大的挑戰，反應腔室氣流場設計涉及腔室設計、進氣系統設計、工藝組件設計、基片旋轉系統設計、真空系統設計等多項關鍵技術等技術難度非常高，高溫下的高均勻、高精度加熱控制，同時，多個不同溫度的工藝步驟在同一腔室內進行，工藝溫度頻繁切換，這些都對加熱系統的設計提出了巨大挑戰精度控制要求高，且多步工藝在單腔室內頻繁切換，對系統的硬件可靠性要求非常高，同時，LED外延工藝開發資金耗費巨大。

　　如果技術人員忽悠老板，老板忽悠政府，這是不負責任的行為。 更有國內知名外延片廠家的負責人直言，“我是不看好這個項目，我只會把這類新聞當成笑話來看，拿項目經費之類的，很多人都是拿這個概念來騙資源。真正做出MOCVD是很難的，這兩年國內是做不出來的，至少要到2013年才有可能”

　　盡管業界對于國產MOCVD的觀點不盡相同，但如果像天龍光電這樣的上市公司能夠按照規劃進度開發出適合市場的MOCVD設備，那無疑是給中國LED產業帶來福音。正如亞威朗光電副總裁申廣所言，“從企業的角度來看，我們是希望MOCVD設備有新的競爭對手出現，有更好的產品出來，這樣可以降低整個產業鏈的成本，進入通用照明更成熟。只要是好的產品，我們一定會支持和歡迎”。