日本住友精密收購Tegal離子刻蝕事業部

　　日本住友精密產品公司(SPP)日前完成了對Tegal離子刻蝕事業部的收購，由此促成Tegal轉型為太陽能系統項目開發商。Tegal以制造和銷售深度反應離子刻蝕(Deep Reactive Ion Etch，DRIE)設備而著稱，但該公司2009年就打算退出半導體設備行業，轉投新興的太陽能系統項目開發市場。

　　兩家公司都沒有透露有關交易的細節，公開的消息是住友精密產品的子公司，SPP 工藝技術系統公司(SPTS)接管了Tegal的有關設備資產，其中包括Tegal DRIE 系列的所以設備、知識產權、和有關的制造工藝技術。SPTS 在2009年還合并了另一家日子難熬的設備公司Aviza Technologies。